Die Systeme von Micro C basieren auf einem Prozess namens RTXä, einer Kombination aus schneller Wärmebehandlung, schnellem thermischen Ausglühen und schneller thermisch-chemischer Gasphasenabscheidung (RTCVD) zum Ätzen der Silikon-Wafer-Oberfläche. Das gesamte RTX-System wird als Cluster-Tool bezeichnet. Es besteht aus einem Automatisierungs-Hub mit bis zu drei Prozessmodulen und einer Kühlkammer. Die Prozessmodule enthalten sämtliche für die moderne Wafer-Bearbeitung notwendigen Automatisierungskomponenten.

Die Entwickler von Cluster-Tools sahen sich aufgrund komplexer Programmiersprachen mit langen Entwicklungszeiten und einem hohen Schulungsaufwand konfrontiert. Computerabstürze traten gehäuft auf und waren schwer zu beheben. Zudem wird in der Halbleiterindustrie eine Standardschnittstelle benötigt, und es werden in den Industriesystemen verschiedene RS232-Kommunikationsschnittstellen verwendet.

Dr. Imad Mahawili, Präsident von Micro C, sah bei der herkömmlichen Steuerungsmethode für Wafer-Verarbeitungssysteme viel Raum für Verbesserungen: "Wir wussten, dass es bessere Steuerungsverfahren gab und dass wir über die herkömmlichen Techniken in der Halbleiterindustrie hinausschauen mussten."

Mit anderen Worten, Micro C benötigte eine Automatisierungslösung für die Überwachungssteuerung des RTX-Prozesses, für die Steuerung der einzelnen Modulfunktionen und die für jedes Modul erforderliche 3-Achssteuerung sowie eine einfach zu konfigurierende, zuverlässige Bedienerschnittstelle. Das gesamte System sollte sich leicht installieren und konfigurieren lassen.

Micro C wusste, dass die Steuerungen von Allen-Bradley schnell, flexibel, zuverlässig und bedienerfreundlich genug sind, um das RTX-System zu entwickeln und auszuführen. Entscheidend war auch ihr Zusammenspiel mit den Programmen von Rockwell Software. Was die neue Bedienerschnittstelle betraf, so war Micro C sicher, dass RSView32 von Rockwell Software sich für das geforderte Multitasking eignen, die Software-Entwicklungszeiten reduzieren und speziell an die individuellen Kundenanforderungen angepasste Bedienerbildschirme bieten würde.

"Durch den Einsatz der Rockwell Software-Produkte konnten wir unsere Entwicklungszeiten um mindestens zwei oder drei Jahre verringern", so Cutro. "Die Zeiteinsparung ist den Allen-Bradley-Steuerungen, den Rockwell Software-Produkten und nicht zuletzt dem äußerst hilfreichen Support von Rockwell Automation zu verdanken."

Bei den bisherigen herstellereigenen Systemen musste schon allein für die Änderung eines Parameters ein Code eingegeben, die Eingabetaste gedrückt und das gesamte Skript für die Parameteränderung geschrieben werden. Nun ist die Eingabe des Werts in einem Feld in der visuellen Darstellung ausreichend. Durch die vereinfachte Fehlersuche werden Schulungsaufwand und Systemausfälle minimiert.

Außerdem verwendet Micro C die in RSView32 eingebettete Entwicklungssprache Microsoft Visual Basic for Applications (VBA) als Offline-Rezept-Editor. Die Entwicklung von 50 Rezepten in einer Steuerung stellt für Micro C jetzt kein Problem mehr dar. Weitere Rezepte können am Arbeitsplatz entwickelt und auf die Systemsteuerung heruntergeladen werden. Durch die erhöhte Flexibilität lassen sich die Systeme optimal an neue Rezepte anpassen.

Micro C war überzeugt, dass RSView32 von Rockwell Software sich für das geforderte Multitasking eignen würde.

Der Einsatz offener Automatisierungsprodukte vereinfacht die Systementwicklung ferner durch eine bessere Integration der Komponenten. Durch die offenen Software-Entwicklungstools konnte Micro C seine Entwicklungszeiten deutlich verkürzen und Steuerungsoptionen bieten, die zuvor nicht verfügbar waren. Beim Einsatz der Produkte von Allen-Bradley und Rockwell Software in einem standardmäßigen Wafer-Bearbeitungssystem verkürzte sich die übliche Entwicklungszeit von 12 bis 14 Monaten auf nur sechs Wochen.

Dr. Mahawili fügt hinzu: "Mit dem Steuerungssystem von Rockwell Automation konnten wir den Durchsatz bei der Wafer-Verarbeitung um 25 Prozent steigern." Vom weltweiten Support, den Rockwell Automation anbietet, ist er ebenso beeindruckt. "Unsere Kunden rund um den Globus kennen den Namen Rockwell Automation und wissen, dass sie in ihrer Region Hilfe anfordern können", berichtet Cutro. "Dank dieser weltweiten Unterstützung können wir unsere Kunden an die lokalen Supportniederlassungen von Rockwell Automation verweisen und sicher sein, dass sie dort die Hilfe erhalten, die sie benötigen."

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